左蓝微(江苏)电子技术有限公司近日公布一项名为“一种声表面波器件结构及装置”的专利(申请公布号:cn119543866a,申请公布日:2025年2月28日)。
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该专利设计了一种创新的声表面波器件结构。它包含衬底和IDT电极,IDT电极位于衬底上,由两个相对设置的叉指电极构成。每个叉指电极包含一个汇流条和多个电极,不同叉指电极的电极指交错排列。 专利技术的核心在于,在电极指上至少形成一个凹槽,且凹槽的垂直投影位于电极指的垂直投影面内。 这使得IDT电极激发的声表面波受到凹槽影响,在电极指范围内形成多个不同声速区域。 具体来说,声表面波在电极指端部的传播速度低于凹槽对应位置的传播速度,类似于在电极指末端增加了抑制负载。 这种设计有效抑制了横向模态,同时降低了声表面波器件的加工难度和成本。
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