7埃米
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imec推动7埃米制程 提出双列CFET结构
imec在2024年ieee国际电子器件会议(iedm)上发布了一种创新的7埃米(a7)逻辑节点互补式场效晶体管(cfet)标准单元结构——双列cfet架构。该架构由两列cfet器件组成,共用一层中间布线墙,在保证可制造性的同时,显著提升了面积效率。 这项研究表明,双列CFET架构能有效简化工艺流程…
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imec在2024年ieee国际电子器件会议(iedm)上发布了一种创新的7埃米(a7)逻辑节点互补式场效晶体管(cfet)标准单元结构——双列cfet架构。该架构由两列cfet器件组成,共用一层中间布线墙,在保证可制造性的同时,显著提升了面积效率。 这项研究表明,双列CFET架构能有效简化工艺流程…