fabsyn

众所周知，越是精密的生产流程，就越需要对工艺参数进行实时且严格的监控。以半导体制造为例，其生产过程往往包含数百道工序，任何由于设备老化、环境波动或工艺配方调整引起的微小参数变化，都可能引发严重后果，因此fdc异常监控系统显得尤为关键。“没有fdc，晶圆生产就如同裸奔”，越来越多高端制造企业将fdc视…