天眼查信息显示，华海清科股份有限公司于2025年3月14日公开了一项名为“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”的专利，专利申请公布号为cn119609920a。
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该发明涉及一种抛光防护装置、化学机械抛光系统及抛光方法，其中所述抛光防护装置包含设置在抛光盘外周侧的环形挡圈；升降组件的一端固定连接在抛光系统基座上，另一端与挡圈相连，用于驱动挡圈上下移动；并且所述升降组件配备有防护套，用于防止抛光过程中产生的废液渗入升降组件内部。
以上就是华海清科“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布的详细内容，更多请关注创想鸟其它相关文章！
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