奕斯伟“边缘研腐设备的控制方法和边缘研磨设留”专利公布

天眼查数据显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司公布了“边缘研磨设备的控制方法和边缘研磨设备”专利,申请公布日为2025年2月28日,申请公布号为cn119526254a。

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奕斯伟“边缘研腐设备的控制方法和边缘研磨设留”专利公布

该专利提出了一种边缘研磨设备的控制方法及设备,其方法包括:在硅片边缘研磨过程中,监测至少一个磨轮的位置是否发生偏移;如果一个或多个磨轮的位置偏移且偏移持续时间超过设定时长,则触发报警操作。该专利能够在硅片边缘研磨过程中有效监测磨轮的精确度,及时识别磨轮位置的异常偏移,减少由于磨轮精度问题导致的边缘形态异常,降低磨轮精度异常引起的主轴异常操作,减少设备磨损和经济损失,有效阻止因Chipping和边缘参数异常而产生的产品,提升硅片边缘工艺参数的稳定性。

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