消息称台积电整合 8 英寸旧厂,转向自研 EUV 薄膜提良率、降成本

消息称台积电整合 8 英寸旧厂,转向自研 euv 薄膜提良率、降成本

9 月 11 日消息,据行业媒体 Digitimes 昨日(9 月 10 日)报道,台积电已确认将在未来两年内逐步退出氮化镓(GaN)代工市场,并计划关闭位于新竹科学园区的 6 英寸二厂,同时对旗下 8 英寸三厂(包括 Fab 3、Fab 5 和 Fab 8)进行整合。

此举旨在应对人力短缺问题,降低整体运营开支,并提升产能利用效率。为此,台积电将调配约 30% 的相关员工转移至南部科学园区及高雄的新生产基地,这也是其自 2025 年初启动老旧厂区优化精简策略以来的关键进展。

根据报道,原 6 英寸晶圆厂将转型为 CoPoS(Chip-on-Panel on Substrate)面板级封装的制造基地,而更引人注目的是,整合后的 8 英寸厂区将承担一项全新且关键的任务 —— 实现自研 EUV 光罩薄膜(Pellicle)的量产。

这一布局标志着台积电试图减少对 ASML 及其上游供应链的依赖,转而依靠自身技术实力,在先进制程领域实现核心材料的自主可控。通过自主研发 EUV 薄膜,台积电不仅有望提高 EUV 光刻工艺的良品率,还能进一步压缩生产成本,增强长期竞争力。

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过去十年,台积电在先进制程上投入了巨额资本,但随着半导体技术逼近物理极限,单纯增加资金投入带来的边际效益正在递减。EUV 光刻虽推动了制程微缩,但设备成本极高——普通 EUV 扫描仪单价约 1.5 亿美元,High-NA 版本更是超过 3.5 亿美元,并由 ASML 垄断供应。因此,台积电已放缓 High-NA 设备采购步伐,转而聚焦于关键技术环节的自主创新。

EUV 薄膜作为覆盖在光罩表面的保护层,主要用于防止微尘污染,但由于传统有机材料在透光性与耐久性方面表现不佳,多数晶圆厂选择“无膜”运行,导致必须频繁停机检测和更换光罩,严重影响生产效率。台积电认为,高质量的 EUV 薄膜对于 7nm 及以下节点至关重要,自研方案一旦成功,将显著优化产线流程、释放产能潜力,并提升盈利能力。

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