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4月24日,中微公司发布公告,宣布在过去14年保持年均营业收入增长超过35%的基础上,2025年第一季度营业收入继续高速增长,同比增长35.40%,达到21.73亿元;归属于母公司的净利润为3.13亿元,同比增长25.67%。
中微公司强调,公司始终处于先进制程工艺发展的前沿,坚持技术创新、产品差异化和知识产权保护的基本原则。通过原创设计,与国际领先的半导体客户公司同步发展。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著增加,先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺已实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已成功进入市场,公司开发的薄膜设备性能达到国际领先水平,并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发,扩大薄膜设备的市场覆盖率。公司的EPI设备顺利进入客户端量产验证阶段,已完成多家先进逻辑器件与MTM器件(包括MEMS和传感器、CIS、功率以及射频器件的超越摩尔器件)客户的工艺验证,并且结果获得客户高度认可。
在泛半导体设备领域,中微公司正在开发更多化合物半导体外延设备,并陆续付运至客户端进行生产验证。
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目前,中微公司在研项目涵盖六大类,超过二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快,过去通常需要三到五年开发一款新设备,现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备,并顺利进入市场,公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。今年第一季度,公司在研发上的投入约为6.87亿元,较上年同期增加3.26亿元,同比增长约90.53%,研发投入占公司营业收入的比例约为31.60%,远高于科创板上市公司的平均研发投入水平(10%~15%)。
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