华海清科股份有限公司近日公布一项名为“位置标定装置”的专利（申请公布号：cn119542200a，申请公布日：2025年2月28日）。
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该专利设计了一种应用于干燥设备的位置标定装置，旨在简化喷杆位置标定过程。该装置主要由标定盘和喷嘴指向件组成。标定盘安装在喷杆和承载晶圆的承载盘之间，与承载盘平行，其侧面设有标识区域。喷嘴指向件则可拆卸地连接在喷杆上，其尖端位于喷杆的喷射路径上。通过调整支撑臂上的喷杆位置，使喷嘴指向件的尖端对准标定盘上的标识区域，从而实现喷嘴位置的精准标定。此方案有效降低了喷杆位置标定的难度。
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